ナノ部品、マイクロ部品に対する強度評価方法の研究

• Material Type: 図書
• Title: ナノ部品、マイクロ部品に対する強度評価方法の研究
• Title Transcription: ナノ ブヒン マイクロ ブヒン ニ タイスル キョウド ヒョウカ ホウホウ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 三原豊, 香川大学 [著]
• Author Heading: 三原, 豊 ミハラ, ユタカ; 香川大学 カガワ ダイガク
• Publication, Distribution, etc.: [三原豊]
• Publication Date: 2001-2003; 2004.6
• Publication Date (W3CDTF): 2001; 2003
• Extent: 56枚
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: マイクロ部材強度試験 / ナノ部材強度試験 / フォトリソプロセス / SOI基板接合 / 櫛形アクチュエーター マイクロ ブザイ キョウド シケン / ナノ ブザイ キョウド シケン / フォトリソプロセス / SOI キバン セツゴウ / クシガタ アクチュエーター
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650281
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13650281
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007599830; http://id.ndl.go.jp/bib/000007599830
• Bibliographic Record Category (NDL): 214