ナノ部品、マイクロ部品に対する強度評価方法の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: ナノ部品、マイクロ部品に対する強度評価方法の研究
• タイトルよみ: ナノ ブヒン マイクロ ブヒン ニ タイスル キョウド ヒョウカ ホウホウ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 三原豊, 香川大学 [著]
• 著者標目: 三原, 豊 ミハラ, ユタカ; 香川大学 カガワ ダイガク
• 出版事項: [三原豊]
• 出版年月日等: 2001-2003; 2004.6
• 出版年（W3CDTF）: 2001; 2003
• 数量: 56枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: マイクロ部材強度試験 / ナノ部材強度試験 / フォトリソプロセス / SOI基板接合 / 櫛形アクチュエーター マイクロ ブザイ キョウド シケン / ナノ ブザイ キョウド シケン / フォトリソプロセス / SOI キバン セツゴウ / クシガタ アクチュエーター
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13650281
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13650281
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007599830; http://id.ndl.go.jp/bib/000007599830
• 整理区分コード: 214