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- Toc / Article...器への実用化と課題||第2章 Si蒸気圧エッチング法||第3章 SiCパワー半導体バイポーラ劣化予測モデルの設...
- Summary, etc....理論的に明らかにした。さらに、Si蒸気圧エッチング法と呼ぶSiC基板の表面処理を......熱化学エッチングプロセスであるSi蒸気圧エッチング法を提案し、ダメージフリー平坦......量的な変換深さの効果を示した。Si蒸気圧エッチング法は、高品質エピタキシャル成長......いことを明らかにした。さらに、Si蒸気圧エッチング法により加工されたウェハを用い......PiNダイオードの数の比率は、Si蒸気圧エッチング法による基板内の基底面転位の貫......を抑制する新たな手法を提案し、Si蒸気圧エッチング法による基板内の基底面転位の貫通刃状転位への変換効果がもたら...
- Subject HeadingSic バイポーラ劣化 基底面転位 Si蒸気圧エッチング PiNダイオード