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Analysis of microstructure and growth mechanism of ion-plated cubic boron nitride thin film by soft X-ray spectroscopy

Analysis of microstructure and growth mechanism of ion-plated cubic boron nitride thin film by soft X-ray spectroscopy
PaperDigital博士論文障害者向け資料あり
上月秀徳 [著]<UT51-96-A386>
Available onlineNational Diet Library
  • Alternative Titleイオンプレーティング法で作製した立方晶窒化ホウ素薄膜の微細構造と成長機構に関する軟X線分光分析法による解析
  • Alternative Titleイオンプレーティング法で作製した立方晶窒化ホウ素薄膜の微細構造と成長機構に関する軟X線分光分析法による解析

イオンプレーティング法で作製した立方晶窒化ホウ素薄膜の微細構造と成長機構に関する軟X線分光分析法による解析

イオンプレーティング法で作製した立方晶窒化ホウ素薄膜の微細構造と成長機構に関する軟X線分光分析法による解析
Digital博士論文
上月, 秀徳
Available onlineOther Libraries in Japan

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