イオンプレーティング法で作製した立方晶窒化ホウ素薄膜の微細構造と成長機構に関する軟X線分光分析法による解析

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Material Type: 博士論文
Title: イオンプレーティング法で作製した立方晶窒化ホウ素薄膜の微細構造と成長機構に関する軟X線分光分析法による解析
Title Transcription: イオンプレーティングホウデサクセイシタリッポウショウチッカホウソハクマクノビサイコウゾウトセイチョウキコウニカンスルナンXセンブンコウブンセキホウニヨルカイセキ
Author/Editor: 上月, 秀徳
Alternative Title: Analysis of Microstructure and Growth Mechanism of Ion-Plated Cubic Boron Nitride Thin Film by Soft X-Ray Spectroscopy
Degree grantor/type: 大阪大学
Dissertation Number: 乙第06792号
Degree Type: 博士（理学）
Target Audience: 一般
Note (General): 出版タイプ： VoR
DOI: 10.11501/3108103
https://doi.org/10.11501/3108103
Format (IMT): application/pdf
Source: 12190_Dissertation.pdf （fulltext）
https://ir.library.osaka-u.ac.jp/repo/ouka/all/53/12190_Dissertation.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 大阪大学 : 大阪大学学術情報庫　桜華