イオンプレーティング法で作製した立方晶窒化ホウ素薄膜の微細構造と成長機構に関する軟X線分光分析法による解析
デジタルデータあり（大阪大学学術情報庫 桜華）
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- イオン プレーティングホウ デ サクセイ シタ リッポウショウ チッカ ホウソ ハクマク ノ ビサイ コウゾウ ト セイチョウ キコウ ニ カンスル ナンXセン ブンコウ ブンセキホウ ニヨル カイセキ
- 著者・編者
- 上月, 秀徳
- 著者標目
- 上月, 秀徳 コウヅキ, ヒデノリ
- 並列タイトル等
- Analysis of Microstructure and Growth Mechanism of Ion-Plated Cubic Boron Nitride Thin Film by Soft X-Ray Spectroscopy
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 1995-12-21
- 報告番号
- 乙第06792号
- 学位
- 博士（理学）
- 本文の言語コード
- eng
- 対象利用者
- 一般
- 一般注記
- 出版タイプ： VoR
- DOI
- 10.11501/3108103
- 記録形式（IMT）
- application/pdf
- 一次資料へのリンクURL
- 12190_Dissertation.pdf （fulltext）
- オンライン閲覧公開範囲
- インターネット公開
- 連携機関・データベース
- 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
- 提供元機関・データベース
- 大阪大学 : 大阪大学学術情報庫 桜華