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拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製
拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製
Paper
図書
榊原, 建樹, 豊橋技術科学大学
1999-2001
<Y151-H11450122>
National Diet Library
拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製
拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製
Paper
図書
研究代表者 榊原建樹
榊原建樹
2002.3
Other Libraries in Japan
科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
Paper
図書
[発行者不定]
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