拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製

• Material Type: 図書
• Title: 拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製
• Title Transcription: カクチョウ シールドガタ シンクウ アーク ジョウチャク ソウチ ニ ヨル ゼツエンセイ チッカ アルミニウムマク ノ ソウセイ
• Author/Editor: 榊原, 建樹, 豊橋技術科学大学
• Author Heading: 榊原, 建樹 サカキバラ, タテキ
• Publication Date: 1999-2001
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 窒化アルミニウム膜 チツカアルミニウムマク; 真空アーク蒸着 シンクウアークジヨウチヤク; 拡張シールド型 カクチヨウシールドガタ; ドロツプレツトフリー ドロツプレツトフリー; 光学的特性 コウガクテキトクセイ; 機械的特性 キカイテキトクセイ; 結晶配向 ケツシヨウハイコウ; イオンエネルギー分析 イオンエネルギーブンセキ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11450122
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11450122
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007077680; http://id.ndl.go.jp/bib/000007077680
• Bibliographic Record Category (NDL): 214