拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製

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Material Type: 図書
Title: 拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製
Title Transcription: カクチョウシールドガタシンクウアークジョウチャクソウチニヨルゼツエンセイチッカアルミニウムマクノソウセイ
Author/Editor: 榊原, 建樹, 豊橋技術科学大学
Author Heading: 榊原, 建樹サカキバラ, タテキ
Publication Date: 1999-2001
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 窒化アルミニウム膜チツカアルミニウムマク
真空アーク蒸着シンクウアークジヨウチヤク
拡張シールド型カクチヨウシールドガタ
ドロツプレツトフリードロツプレツトフリー
光学的特性コウガクテキトクセイ
機械的特性キカイテキトクセイ
結晶配向ケツシヨウハイコウ
イオンエネルギー分析イオンエネルギーブンセキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11450122
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11450122
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007077680
http://id.ndl.go.jp/bib/000007077680
Bibliographic Record Category (NDL): 214