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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- カクチョウ シールドガタ シンクウ アーク ジョウチャク ソウチ ニ ヨル ゼツエンセイ チッカ アルミニウムマク ノ ソウセイ
- 著者・編者
- 榊原, 建樹, 豊橋技術科学大学
- 著者標目
- 榊原, 建樹 サカキバラ, タテキ
- 出版年月日等
- 1999-2001
- 出版年（W3CDTF）
- 1999
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- 窒化アルミニウム膜 チツカアルミニウムマク真空アーク蒸着 シンクウアークジヨウチヤク拡張シールド型 カクチヨウシールドガタドロツプレツトフリー ドロツプレツトフリー光学的特性 コウガクテキトクセイ機械的特性 キカイテキトクセイ結晶配向 ケツシヨウハイコウイオンエネルギー分析 イオンエネルギーブンセキ