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A study on the charging mechanisms of electrically insulated substrates in negative-ion implantation

A study on the charging mechanisms of electrically insulated substrates in negative-ion implantation
PaperDigital博士論文障害者向け資料あり
豊田啓孝 [著]<UT51-96-F323>
Available onlineNational Diet Library
  • Alternative Title負イオン注入における絶縁基板の帯電メカニズムに関する研究
  • Alternative Title負イオン注入における絶縁基板の帯電メカニズムに関する研究

負イオン注入における絶縁基板の帯電メカニズムに関する研究

負イオン注入における絶縁基板の帯電メカニズムに関する研究
Digital博士論文
Toyota, YoshitakaKyoto University1996-03-23
Available onlineOther Libraries in Japan

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