A study on the charging mechanisms of electrically insulated substrates in negative-ion implantation

• Material Type: 博士論文
• Title: A study on the charging mechanisms of electrically insulated substrates in negative-ion implantation
• Author/Editor: 豊田啓孝 [著]
• Author Heading: 豊田, 啓孝 トヨタ, ヨシタカ
• Alternative Title: 負イオン注入における絶縁基板の帯電メカニズムに関する研究 フイオン チュウニュウ ニ オケル ゼツエン キバン ノ タイデン メカニズム ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 京都大学
• Date Granted: 平成8年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 甲第6444号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-F323
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000295482; http://id.ndl.go.jp/bib/000000295482
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

Contents

Abstract

Acknowledgments

List of Symbols