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Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究

Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究
Paper図書
栗林, 勝利, 山口大学1994-1995<Y151-H06452230>
National Diet Library

Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究

Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究
Paper図書
栗林勝利研究代表者[山口大学工学部]1996.3
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  • Alternative TitleSiウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究
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科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書

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Paper図書
[文部省]
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