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Applied technology development related to multi-layer structure for EUV Optics–for space satellite mounting and semiconductor device manufacturing–

Applied technology development related to multi-layer structure for EUV Optics–for space satellite mounting and semiconductor device manufacturing–
デジタル博士論文障害者向け資料あり
村地, 哲徳兵庫県立大学2014-09-22
国立国会図書館

極端紫外光分光撮像用のMo/Si多層膜回折格子の開発 (宇宙航空研究開発機構研究開発報告 ; JAXA RR-03-7)

極端紫外光分光撮像用のMo/Si多層膜回折格子の開発 (宇宙航空研究開発機構研究開発報告 ; JAXA RR-03-7)
紙デジタル図書
村地哲徳 [ほか著]宇宙航空研究開発機構2004.3<Y251-H545>
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宇宙科学研究所報告

宇宙科学研究所報告
紙記録メディア雑誌
宇宙科学研究所1981-2003<Z15-409>
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宇宙科学シンポジウム

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紙雑誌
宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部2001-2005<Z74-C383>
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