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ENTWICKLUNG EINER OPTO-ELEKTRO-MECHANISCHEN 2 X 2 SCHALTMATRIX IN LIGA-TECHNIK FUER DIE OPTISCHE TELEKOMMUNIKATION (FZKA ; FZKA-6514)

ENTWICKLUNG EINER OPTO-ELEKTRO-MECHANISCHEN 2 X 2 SCHALTMATRIX IN LIGA-TECHNIK FUER DIE OPTISCHE TELEKOMMUNIKATION (FZKA ; FZKA-6514)
紙図書
RUZZU, A.C.M./WALLRABE, U.Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Technik und Umwelt(Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Technik und Umwelt)2000.
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  • 著者標目RUZZU, A.C.M. WALLRABE, U.

DESIGN, HERSTELLUNG UND CHARAKTERISIERUNG EINES MIKROMECHANISCHEN GYROMETERS AUF DER BASIS DER LIGA-TECHNIK (FZKA ; FZKA-6361)

DESIGN, HERSTELLUNG UND CHARAKTERISIERUNG EINES MIKROMECHANISCHEN GYROMETERS AUF DER BASIS DER LIGA-TECHNIK (FZKA ; FZKA-6361)
紙図書
SCHUMACHER, K./WALLRABE, U.Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Technik und Umwelt(Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Technik und Umwelt)1999.
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  • 著者標目SCHUMACHER, K. WALLRABE, U.

Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren. (DVD-ROM: KfK 4648 - KfK PEF 2)(DVD-ROM) (KFK ; KFK-5088)

Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren. (DVD-ROM: KfK 4648 - KfK PEF 2)(DVD-ROM) (KFK ; KFK-5088)
紙図書
Wallrabe, U./Bley, P./and others1992.
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  • 著者標目Wallrabe, U. Bley, P. and others

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