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極浅半導体接合創成のためのコヒーレントフォノン励起型アニールプロセスの解明・制御
極浅半導体接合創成のためのコヒーレントフォノン励起型アニールプロセスの解明・制御
紙
図書
節原裕一, 大阪大学 [著]
[節原裕一]
2003-2005
<Y151-H15360388>
国立国会図書館
内部アンテナ型大容積RFプラズマ源を用いた高性能プラズマイオン注入プロセスの開発
内部アンテナ型大容積RFプラズマ源を用いた高性能プラズマイオン注入プロセスの開発
紙
図書
節原裕一, 京都大学 [著]
[節原裕一]
2001-2003
<Y151-H13555199>
国立国会図書館
極浅半導体接合創成のためのコヒーレントフォノン励起型アニールプロセスの解明・制御
極浅半導体接合創成のためのコヒーレントフォノン励起型アニールプロセスの解明・制御
紙
図書
研究代表者 節原裕一
[節原裕一]
2006.5
全国の図書館
内部アンテナ型大容積RFプラズマ源を用いた高性能プラズマイオン注入プロセスの開発
内部アンテナ型大容積RFプラズマ源を用いた高性能プラズマイオン注入プロセスの開発
紙
図書
節原裕一研究代表
[節原裕一]
2004.5
全国の図書館
超硬質窒化物合成のための高密度ヘリコン波プラズマ励起・超活性化成膜プロセスの開発
超硬質窒化物合成のための高密度ヘリコン波プラズマ励起・超活性化成膜プロセスの開発
紙
図書
研究代表者 節原裕一
節原裕一
2001.2
全国の図書館
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