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パルスレーザ照射により生ずるSi中ボイド近傍の性状

パルスレーザ照射により生ずるSi中ボイド近傍の性状
デジタル文書・図像類
岩田, 博之, 河口, 大祐, 坂, 公恭愛知工業大学2019-12-30総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.21p.92-94
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  • 件名TEM STEM ステルスダイシング ボイド 転位

パルスレーザ集光により生ずるサファイヤ結晶欠陥の性状と加工効率

パルスレーザ集光により生ずるサファイヤ結晶欠陥の性状と加工効率
デジタル文書・図像類
岩田, 博之, 河口, 大祐, 坂, 公恭愛知工業大学2021-11総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.23p.64-65
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  • 件名TEM STEM ステルスダイシング ボイド サファイヤ 転位

内部集光型レーザダイシングを用いたTEM試料用小片の切り出し手法

内部集光型レーザダイシングを用いたTEM試料用小片の切り出し手法
デジタル文書・図像類
岩田, 博之, 高木, 誠, 坂, 公恭愛知工業大学2022-10総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.24p.83-84
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  • 件名TEM STEM 顕微鏡試料作製 イオンスライサー ステルスダイシング ボイド 転位

自己伝播発熱素材と光技術によるウェハ接合技術開発とその応用

自己伝播発熱素材と光技術によるウェハ接合技術開発とその応用
デジタル文書・図像類
生津, 資大, 河口, 大祐, 伊ヶ崎, 泰則愛知工業大学2019-12-30総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.21p.23-24
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  • 件名自己伝播発熱材料 瞬間反応接合 ステルスダイシング

自己伝播発熱素材と光技術によるウェハ接合技術開発とその応用

自己伝播発熱素材と光技術によるウェハ接合技術開発とその応用
デジタル文書・図像類
生津, 資大, 河口, 大祐, 伊ヶ崎, 泰則, 小柳津, 雅輝愛知工業大学2018-09-30総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.20p.24-25
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  • 件名自己伝播発熱材料 瞬間反応接合 ステルスダイシング

内部集光型レーザダイシングを用いたイオンスライサーのための前処理手法

内部集光型レーザダイシングを用いたイオンスライサーのための前処理手法
デジタル文書・図像類
岩田, 博之, 高木, 誠, 坂, 公恭, 河口, 大祐愛知工業大学2018-09-30総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.20p.75-76
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  • 件名TEM STEM 顕微鏡試料作製 イオンスライサー ステルスダイシング ボイド 転位

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