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多成分イオンビームの生成とその化合物半導体薄膜形成への応用
多成分イオンビームの生成とその化合物半導体薄膜形成への応用
紙
図書
真瀬, 寛, 茨城大学
1987-1988
<Y151-S62550219>
国立国会図書館
件名
多成分イオンビーム イオン源 半導体薄膜 イオンビーム蒸着
パラメータ制御
プラズマ源
可変構造システムの
パラメータ制御
に関する研究(準能動的制振装置の開発)
可変構造システムのパラメータ制御に関する研究(準能動的制振装置の開発)
紙
図書
岩田, 義明, 東京都立大学
1987-1988
<Y151-S62550183>
国立国会図書館
件名
可変構造
パラメータ制御
準能動的サスペンシヨン セミアクテイブマスダンパ スカイフ...
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