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極低温複合絶縁系の流動帯電と帯電時における電気絶縁特性の評価
極低温複合絶縁系の流動帯電と帯電時における電気絶縁特性の評価
紙
図書
水野幸男, 名古屋工業大学 [著]
[水野幸男]
2003-2004
<Y151-H15560275>
国立国会図書館
件名
液体窒素 / 高分子材料 / 流動帯電 / 表面電位 /
ファラデーケージ
/ フィルタ
半導体デバイス洗浄における機械学習を用いた静電気障害の予知技術の確立
半導体デバイス洗浄における機械学習を用いた静電気障害の予知技術の確立
デジタル
文書・図像類
清家, 善之, 森, 竜雄, 一野, 祐亮, 瀬川, 大司, 加藤, 幹大, 宮地, 計二
愛知工業大学
2022-10
総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.
24
p.8-9
全国の図書館
件名
半導体デバイス 静電気障害 高圧スプレー 純水
ファラデーケージ
フラットパネルディスプレー
半導体デバイス洗浄における機械学習を用いた静電気障害の予知技術の確立
半導体デバイス洗浄における機械学習を用いた静電気障害の予知技術の確立
デジタル
文書・図像類
清家, 善之, 森, 竜雄, 瀬川, 大司, 小林, 義典, 宮地, 計二
愛知工業大学
2021-11
総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.
23
p.6-7
全国の図書館
件名
半導体デバイス 静電気障害 高圧スプレー 純水
ファラデーケージ
フラットパネルディスプレー
電子デバイスの純水スプレー洗浄工程における静電気発生防止技術の開発
電子デバイスの純水スプレー洗浄工程における静電気発生防止技術の開発
デジタル
文書・図像類
清家, 善之, 森, 竜雄, 瀬川, 大司, 小林, 義典, 宮地, 計二
愛知工業大学
2020-11
総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.
22
p.6-8
全国の図書館
件名
半導体デバイス 静電気障害 高圧スプレー 純水
ファラデーケージ
フラットパネルディスプレー
電子デバイスの純水スプレー洗浄工程における静電気発生防止技術の開発
電子デバイスの純水スプレー洗浄工程における静電気発生防止技術の開発
デジタル
文書・図像類
清家, 善之, 森, 竜雄, Eze, Vincent Obiozo, 瀬川, 大司, 小林, 義典, 宮地, 計二
愛知工業大学
2018-09-30
総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.
20
p.19-21
全国の図書館
件名
半導体デバイス 静電気障害 高圧スプレー 純水
ファラデーケージ
誘導帯電素子
電子デバイスの純水スプレー洗浄工程における静電気発生防止技術の開発
電子デバイスの純水スプレー洗浄工程における静電気発生防止技術の開発
デジタル
文書・図像類
清家, 善之, 森, 竜雄, 瀬川, 大司, 小林, 義典, 宮地, 計二
愛知工業大学
2019-12-30
総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.
21
p.6-8
全国の図書館
件名
半導体デバイス 静電気障害 高圧スプレー 純水
ファラデーケージ
フラットパネルディスプレー
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