清家, 善之, 森, 竜雄, 本多, 祐二, 疋田, 智美, 佐藤, 正典愛知工業大学2020-11総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.22p.11-13
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- 件名半導体デバイス 超音波スプレー洗浄 ポリエスチレンラテックス(PSL)粒子 洗浄 純水 エレクトロスプレー
清家, 善之, 森, 竜雄, 本多, 祐二, 疋田, 智美, 佐藤, 正典愛知工業大学2019-12-30総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.21p.11-13
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- 件名半導体デバイス 超音波洗浄 ポリエスチレンラテックス(PSL)粒子 洗浄 純水 エレクトロスプレー
清家, 善之, 森, 竜雄, 本多, 祐二, 疋田, 智美, 佐藤, 正典愛知工業大学2021-11総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.23p.8-9
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- 件名半導体デバイス 石英振動体型超音波洗浄 超音波スプレー洗浄 ポリエスチレンラテックス(PSL)粒子 洗浄 純水 エレクトロスプレー
清家, 善之, 本多, 祐二愛知工業大学2018-09-30総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.20p.34-36
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- 件名半導体デバイス 超音波洗浄 ポリエスチレンラテックス(PSL)粒子 洗浄 純水 エレクトロスプレー