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超クリーンクローズド多重湿式プロセス装置を用いた超純水中のシリコン表面状態の研究
超クリーンクローズド多重湿式プロセス装置を用いた超純水中のシリコン表面状態の研究
紙
図書
岩崎, 裕, 大阪大学
1992-1994
<Y151-H04452092>
国立国会図書館
件名
シリコン RCA洗浄 エツチング フローセル
マイクロラフネス
STM AFM フラクタル
水素終端シリコン表面の原子層酸化の機構と界面構造
水素終端シリコン表面の原子層酸化の機構と界面構造
紙
図書
広瀬, 全孝, 広島大学
1992-1993
<Y151-H04452177>
国立国会図書館
件名
シリコン表面 表面
マイクロラフネス
水素終端表面 原子ステツプ構造 原子層酸化 SiO2/Si...
X-ray Structures of Heteroepitaxial Growths ヘテロエピタキシヤル成長のX線的構造
X-ray Structures of Heteroepitaxial Growths ヘテロエピタキシヤル成長のX線的構造
紙
図書
橋爪, 弘雄, 東京工業大学
1992-1993
<Y151-H03402052>
国立国会図書館
件名
CaSrF2エピタキシヤル結晶 YBCOアナログ超伝導薄膜 As吸着シリコン表面
マイクロラフネス
X線回折法 シンクロトロン放射 表面/界面構造
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