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ナノ加工・計測のための気圧管理可能な環境一定制御チャンバーの実用化

ナノ加工・計測のための気圧管理可能な環境一定制御チャンバーの実用化
紙図書
山口勝己, 大阪府立産業技術総合研究所 [著][山口勝己]2005-2006<Y151-H17560112>
国立国会図書館
  • 件名環境補償 / 環境一定制御チャンバー / レーザ干渉測長器 / 超精密加工 / 気圧 / 温度 / 湿度 / 位置決め...

追尾式レーザ干渉測長器による6自由度相対運動計測・補正に基づく超精密機械システム

追尾式レーザ干渉測長器による6自由度相対運動計測・補正に基づく超精密機械システム
デジタル文書・図像類
大岩, 孝彰2020-06-09
全国の図書館
  • 件名精密機械システム レーザトラッカ 三次元座標計測 ２自由度パラレルメカニズム レーザ干渉測長器

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