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ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開

ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開
紙図書
秩父重英, 筑波大学 [著][秩父重英]2004-2006<Y151-H16360146>
国立国会図書館
  • 件名ヘリコン波励起プラズマ / 酸化亜鉛 / 誘電体酸化物 / 透明導電膜 / 分布ブラッグ反射鏡 / エピタキシャル成長 / 多層構造 / MgZnO

周期的構造変調層を形成したSiナノ結晶分散薄膜の電気的・光学的性質

周期的構造変調層を形成したSiナノ結晶分散薄膜の電気的・光学的性質
紙図書
猪熊, 孝夫, 金沢大学1999-2000<Y151-H11650319>
国立国会図書館
  • 件名シリコンナノ結晶 酸化物媒質 薄膜 フオトルミネセンス 分布ブラツグ反射鏡 垂直光共振器 発光波長制御

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