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新規合成に立脚した1次,2次構造を有する高性能ガス分離膜の作成
新規合成に立脚した1次,2次構造を有する高性能ガス分離膜の作成
紙
図書
加藤, 政雄, 東京理科大学
1993-1995
<Y151-H05555252>
国立国会図書館
件名
ガス分離膜
含ケイ素ポリマー
新規合成 反応性
含ケイ素ポリマー
界面重合膜
サブハーフミクロンのパターニングが可能なポジ型レジスト高分子材料の開発
サブハーフミクロンのパターニングが可能なポジ型レジスト高分子材料の開発
紙
図書
松田, 実, 東北大学
1990-1991
<Y151-H02555181>
国立国会図書館
件名
ポジ型レジスト サブハーフミクロン ポリスルホン 電子線レジスト 耐酸素プラズマ性
含ケイ素ポリマー
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