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多相交流放電を応用したプラズマ紫外線源によるPCBの光脱塩素無害化処理技術開発
多相交流放電を応用したプラズマ紫外線源によるPCBの光脱塩素無害化処理技術開発
紙
図書
松本, 和憲, 富山県立大学
1997-1998
<Y151-H09680466>
国立国会図書館
件名
PCB 光脱塩素無害化処理 プラズマ紫外線源 多相交流放電
多極磁場
プラズマ紫外線源による有機塩素系産業廃棄物の非燃焼性・処理技術開発
プラズマ紫外線源による有機塩素系産業廃棄物の非燃焼性・処理技術開発
紙
図書
松本, 和憲, 富山県立大学
1995-1996
<Y151-H07680513>
国立国会図書館
件名
有機塩素系有害物質 PCB 無害化処理 脱塩素 紫外線照射 プラズマ光源
多極磁場
オブレ-トな磁場反転配位プラズマの生成とその安定性
オブレ-トな磁場反転配位プラズマの生成とその安定性
紙
図書
高橋, 努, 日本大学
2000-2001
<Y151-H12680495>
国立国会図書館
件名
オブレ-ト 磁場反転配位プラズマ n=1モ-ド運動
多極磁場
Non-Tearing生成 ポロイダル断面形状測定 移送速...
超微細プロセス用低エネルギー粒子ビーム源の開発
超微細プロセス用低エネルギー粒子ビーム源の開発
紙
図書
菅井秀郎, 名古屋大学
1989-1990
<Y151-H01880002>
国立国会図書館
件名
プラズマプロセス プラズマエツチング プラズマCVD 表面磁場
多極磁場
高周波放電 フラグメンテーシヨン プラズマ・表面相互作用
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