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デジタル文書・図像類
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- 件名多結晶シリコン薄膜 三次元軸配向 表面観察 結晶粒形状 結晶成長 原子間力顕微...
- 一般注記...無定形の石英基板上に堆積された多結晶シリコン薄膜における結晶粒がほぼ均一の大き......典:研究課題「三次元軸配向した多結晶シリコン薄膜の開発とその結晶成長メカニズムの解明」課題番号0765000...
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- 件名薄膜トランジスタ 多結晶シリコン薄膜 レーザーアニール 電気的欠陥 Bio-LBL法
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