清家, 善之, 森, 竜雄, 一野, 祐亮, 本多, 祐二, 疋田, 智美愛知工業大学2022-10総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.24p.6-7
全国の図書館
- 件名石英振動体型超音波洗浄装置 超音波 半導体 ポリスチレンラテックス（PSL）粒子
清家, 善之, 森, 竜雄, 本多, 祐二, 疋田, 智美, 佐藤, 正典愛知工業大学2021-11総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.23p.8-9
全国の図書館
- 件名半導体デバイス 石英振動体型超音波洗浄 超音波スプレー洗浄 ポリエスチレンラテックス(PSL)粒子...