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磁気中性線
放電(NLD)プラズマ生成技術を用いたナノテクプロセスへの応用
磁気中性線放電(NLD)プラズマ生成技術を用いたナノテクプロセスへの応用
紙
図書
大坪昌久, 宮崎大学 [著]
[大坪昌久]
2004-2005
<Y151-H16560248>
国立国会図書館
件名
磁気中性線
放電プラズマ / カーボンナノチューブ (CNTs) / プ...
新タイプ
磁気中性線
放電(NLD)プラズマ生成法を用いた新しいスパッタ装置の開発
新タイプ磁気中性線放電(NLD)プラズマ生成法を用いた新しいスパッタ装置の開発
紙
図書
本田親久, 宮崎大学 [著]
[本田親久]
2002-2003
<Y151-H14550269>
国立国会図書館
件名
磁気中性線
放電プラズマ / NLDプラズマ / プロセスプラズマ / ...
プロセツシングのための
磁気中性線
放電(NLD)プラズマの振舞に関する研究
プロセツシングのための磁気中性線放電(NLD)プラズマの振舞に関する研究
紙
図書
村岡, 克紀, 九州大学
1996-1998
<Y151-H08558045>
国立国会図書館
件名
磁気中性線
プロセシングプラズマ 電子温度 電子密度 レーザートムソン...
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