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パラレル機構を用いたナノ構造マニピユレ-タの開発
パラレル機構を用いたナノ構造マニピユレ-タの開発
紙
図書
古谷, 克司, 豊田工業大学
2001-2002
<Y151-H13650289>
国立国会図書館
件名
パラレル機構 圧電素子 ナノテクノロジ-
粗微動機構
姿勢制御 直動機構 校正 ナノ加工
ハイブリツド方式ス-パ-ダイナミツクレンジパラレルロボツトの試作研究
ハイブリツド方式ス-パ-ダイナミツクレンジパラレルロボツトの試作研究
紙
図書
武田, 行生, 東京工業大学
2000-2002
<Y151-H12555039>
国立国会図書館
件名
ロボツト工学 パラレルメカニズム 精密位置決め ハイブリツド機構
粗微動機構
機構総合 転がり球面軸受
サブナノメカニズムの動的挙動の計測と制御に関する研究
サブナノメカニズムの動的挙動の計測と制御に関する研究
紙
図書
下河辺, 明, 東京工業大学
1994-1995
<Y151-H06452168>
国立国会図書館
件名
位置決め PID制御 フアジイ制御 ニユーラルネツトワーク制御 最適制御
粗微動機構
ボールねじ 圧電素子
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