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- 件名走査電子顕微鏡 多孔質シリコン 自己クローニング 3次元フォトニック結晶 選択陽極化成 X線ロッキングカーブ...
- 一般注記...シリコンの格子パターンを下層に自己クローニングして作製する,屈折率孔質シリコ......用いた選択陽極化成と,提案した自己クローニング法でPS3DPSの作製を行い,......格子を1μmの層厚で7層目まで自己クローニングできることが確認できた.また、サイズの縮小化と自己クローニングの繰り返し数の増加の障害となっている主な原因は,多孔質シリコ...
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