「"薄膜の熱拡散率"」の検索結果 | NDLサーチ

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紙図書

畑, 朋延, 金沢大学1994-1996<Y151-H06452139>

国立国会図書館

デジタル文書・図像類

畑, 朋延, Hata, Tomonobu1999-03-08平成8(1996)年度科学研究費補助金基盤研究(B) 研究成果報告書概要 = 1996 Fiscal Year Final Research Report Summary1994 – 1996p.2p.-

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件名光音響分光法 PAS 熱伝導率熱拡散率薄膜の熱拡散率 InP Thermal Conductivity Si P...
一般注記...英基板に堆積した約1μmのSi薄膜の熱拡散率を求めた。光を照射した位置、つ......ば膜と基板の並列熱抵抗からSi薄膜の熱拡散率は0.65[cm^2/s]とも......うに石英基板およびその上のSi薄膜の熱拡散率を求めることに成功した。 Original point of...

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