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UMS技術による新しい結晶
表面加工層・変質層
の検出・評価法の開発
UMS技術による新しい結晶表面加工層・変質層の検出・評価法の開発
紙
図書
櫛引, 淳一, 東北大学
1998-1999
<Y151-H10555099>
国立国会図書館
件名
超音波マイクロスペクトロスコピー 定量評価法 V (z) 曲線解析法 漏洩弾性波表面波伝搬特性 反射係数測定法 結晶表面評価法
表面加工層・変質層
LiNbO3・LiTaO3
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