清家, 善之, 森, 竜雄, 五島, 敬史郎, 日永, 康博, 窪, 慎二, 川畑, 隆広, 渡邊, 久倫, 岩元, 勇人, 萩本, 賢哉, 齋藤, 卓愛知工業大学2022-10総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.24p.10-11
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- 件名半導体洗浄 磁場 二流体スプレー 静電気障害（ESD）
清家, 善之, 森, 竜雄, 五島, 敬史郎, 門村, 新吾, 日永, 康博, 窪, 慎二, 川畑, 隆広, 岩元, 勇人, 萩本, 賢哉, 齋藤, 卓愛知工業大学2020-11総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.22p.9-10
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清家, 善之, 森, 竜雄, 一野, 祐亮, 瀬川, 大司, 加藤, 幹大, 宮地, 計二愛知工業大学2023-11総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.25p.10-11
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- 件名半導体デバイス 静電気障害 高圧スプレー 純水 回帰機械学習 深層学習
清家, 善之, 森, 竜雄, 一野, 祐亮, 瀬川, 大司, 加藤, 幹大, 宮地, 計二愛知工業大学2022-10総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.24p.8-9
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- 件名半導体デバイス 静電気障害 高圧スプレー 純水 ファラデーケージ フラットパネルディス...
清家, 善之, 森, 竜雄, 瀬川, 大司, 小林, 義典, 宮地, 計二愛知工業大学2021-11総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.23p.6-7
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- 件名半導体デバイス 静電気障害 高圧スプレー 純水 ファラデーケージ フラットパネルディス...
清家, 善之, 森, 竜雄, 瀬川, 大司, 小林, 義典, 宮地, 計二愛知工業大学2020-11総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.22p.6-8
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- 件名半導体デバイス 静電気障害 高圧スプレー 純水 ファラデーケージ フラットパネルディス...
清家, 善之, 森, 竜雄, Eze, Vincent Obiozo, 瀬川, 大司, 小林, 義典, 宮地, 計二愛知工業大学2018-09-30総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.20p.19-21
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- 件名半導体デバイス 静電気障害 高圧スプレー 純水 ファラデーケージ 誘導帯電素子
大見, 忠弘, 東北大学1992-1993<Y151-H04505002>
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- 件名ドライプロセス 低温プロセス 超LSI 半導体製造装置 イオン注入 静電気障害 MOSFET ゲート酸化
清家, 善之, 森, 竜雄, 瀬川, 大司, 小林, 義典, 宮地, 計二愛知工業大学2019-12-30総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.21p.6-8
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- 件名半導体デバイス 静電気障害 高圧スプレー 純水 ファラデーケージ フラットパネルディス...
狩野 広之/小林 義隆/橘高 重義/皆川 洋二/細川 汀/佐藤 一雄/三浦 豊彦/小泉 袈裟勝/大橋 一雄/安田 はる/天邪鬼/金山 哲三/三浦 豊彦/川口 邦供/丸岡 秀子/沼尻 幸吉/木村 菊二/1969-06-0124 6p.1-77
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