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Coupled diffusion of impurity atoms and point defects in silicon crystals

Coupled diffusion of impurity atoms and point defects in silicon crystals
紙図書
Oleg VelichkoWorld Scientificc2020
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  • 件名Semiconductors -- Impurity distribution Silicon crystals -- Defects Silicon -- Inclusions
  • 件名（識別子）Semiconductors -- Impurity distribution Silicon crystals -- Defects Silicon -- Inclusions

Metal impurities in silicon-device fabrication : gw : us

Metal impurities in silicon-device fabrication : gw : us
紙図書
Klaus GraffSpringer-Verlagc1995
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  • 件名Semiconductors -- Defects Silicon -- Inclusions Silicon -- Defects
  • 件名（識別子）Semiconductors -- Defects Silicon -- Inclusions Silicon -- Defects

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