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パルスレーザアニールによりイットリア安定化ジルコニア上に固相結晶化したSi薄膜の膜質に関する研究

パルスレーザアニールによりイットリア安定化ジルコニア上に固相結晶化したSi薄膜の膜質に関する研究
デジタル博士論文障害者向け資料あり
Mai, Thi Kieu Lien2015-09
国立国会図書館
  • 件名poly-Si pulsed laser YSZ crystallization-induction layer low temperature solid phase c...

パルスレーザアニールによりイットリア安定化ジルコニア上に固相結晶化したSi薄膜の膜質に関する研究

パルスレーザアニールによりイットリア安定化ジルコニア上に固相結晶化したSi薄膜の膜質に関する研究
デジタル博士論文
Mai, Thi Kieu Lien2015-09
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  • 件名poly-Si pulsed laser YSZ crystallization-induction layer low temperature solid phase c...

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