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シリコン球結晶の成長とその表面酸化
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宇宙開発事業団
1994-10-20
宇宙開発事業団技術報告 = NASDA Technical Memorandum
p.620-645
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...rface position
impurity pattern
一般注記
...nd presence of
impurity pattern
were investiga...
... thickness. As
impurity pattern
in this region disappeared, s...
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