松島, 孝典, 中嶋, 正裕, 野本, 一貴, 佐藤, 政孝, 中村, 徹, MATSUSHIMA, Takanori, NAKAJIMA, Masahiro, Nomoto, Kazuki, SATOH, Masataka, NAKAMURA, Tohru電子情報通信学会2006-11-17電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス106 379p.27-31
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- 件名AlGaN GaN HEMT 1 f雑音 表面保護膜 PECVD スパッタ 1/f noise Surface Passivation Spatter