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- 目次・記事... 2.2 外部磁石型マイクロ・スパッタリング装置 2.3 磁石内蔵型マイクロ・スパッタリング装置の基本概念とその特徴 第3章 磁石内蔵型マイクロ・スパッタリング装置の設計 3.1 はじめに 3.......の測定 3.4 試作マイクロ・スパッタリング装置 3.5 まとめ <文献,資料...... 第4章 磁石内蔵型マイクロ・スパッタリング装置の特性 4.1 はじめに 4....... 第5章 磁石内蔵型マイクロ・スパッタリング装置の試作と応用研究 5.1 はじ...... 5.2 磁石内蔵型マイクロ・スパッタリング装置「かえるJr.」と「おやゆび姫...... 第6章 磁石内蔵型マイクロ・スパッタリング装置における18種類の遷移金属の薄膜形成速度-その測定とSigm...
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