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Cl(sub 2)+Ar reactive-ion-beam etching of InGaAlAs for smooth, low- damage definition of asymmetric Fabry-Perot optical transmission modulators
SAND-96-1481C DE96 011713 CONF-96050218
Cl(sub 2)+Ar reactive-ion-beam etching of InGaAlAs for smooth, low- damage definition of asymmetric Fabry-Perot optical transmission modulators SAND-96-1481C DE96 011713 CONF-96050218
マイクロ
規格・テクニカルリポート類
Vawter, G. A, Fritz, I. J, Drummond, T. J, Lee, S. R, Hafich, M. J
1996
<LS-DE96/011713>
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