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Dry etch development of W/WSi short Gate MESFETs SAND-96-0076C DE96 004704 SAND-96-0781C CONF-9605022

Dry etch development of W/WSi short Gate MESFETs SAND-96-0076C DE96 004704 SAND-96-0781C CONF-9605022
マイクロ規格・テクニカルリポート類
Shul, R. J, Sherwin, M. E, Baca, A. G, Zolper, J. C, Rieger, D. J1996<LS-DE96/004704>
国立国会図書館

DRY ETCH DEVELOPMENT OF W/WSI SHORT GATE MESFETS (SAND ; SAND-96-0076C)

DRY ETCH DEVELOPMENT OF W/WSI SHORT GATE MESFETS (SAND ; SAND-96-0076C)
紙図書
SHUL, R.J.// SHERWIN, M.E.// BACA, A.G.// ZOLPER, J.C.// RIEGER, D.J. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)1996.
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