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プロトン剥離現象における不純物依存性

プロトン剥離現象における不純物依存性
デジタル文書・図像類
岩田, 博之, 高木, 誠, 徳田, 豊, 井村, 徹愛知工業大学2003-01-20総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.4p.55-58
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  • 並列タイトル等（連結）プロトン ハクリ ゲンショウ ニオケル フジュンブツ イゾンセイ Impurity Dependence of Exfoliation in Proton-implanted Silicon
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