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VERIFICATION OF FREQUENCY SCALING LAWS FOR CAPACITIVE RF DISCHARGES USING TWO-DIMENSIONAL SIMULATIONS
(UCB ; UCB/ERL-M-92/146)
VERIFICATION OF FREQUENCY SCALING LAWS FOR CAPACITIVE RF DISCHARGES USING TWO-DIMENSIONAL SIMULATIONS (UCB ; UCB/ERL-M-92/146)
紙
図書
VAHEDI, V.// BIRDSALL, C.K.// LIEBERMAN, M.A.// DIPESO, G.// ROGNLIEN, T.D. (CALIFORNIA UNIV., BERKELEY, CA (UNITED STATES). ELECTRONICS RESEARCH LAB.)
1992.
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