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- 件名...iの選択酸化 シリコン窒化膜 伝搬損失 Optical waveguide Si photonic...
- 一般注記...ング壁面の荒れにより光導波路の伝搬損失が比較的大きくなっている。本研......クラッドの境界が滑らかになり、伝搬損失の低減が期待できる。シリコン窒......認した。作製したSi光導波路の伝搬損失は6.3dB/cm、結合損失は......た従来法によるSi光導波路は、伝搬損失10.3dB/cm、結合損失27.0dBであり、本方法により伝搬損失が低減できることを実証した。結合損失は増加したが、これは、S...
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