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不揮発性メモリの実現に向けた高誘電率キャパシタ材料の低温形成
不揮発性メモリの実現に向けた高誘電率キャパシタ材料の低温形成
紙
図書
光田好孝, 東京大学 [著]
[光田好孝]
2001-2003
<Y151-H13555194>
国立国会図書館
件名
強誘電体薄膜 / チタン酸バリウム / スパッタリング / 高周波バイアス / イオン衝撃 /
低温結晶化
/ 誘電特性 / ヒステリシス
レーザーアブレーシヨンによるクラスター生成を用いた無機薄膜の形成
レーザーアブレーシヨンによるクラスター生成を用いた無機薄膜の形成
紙
図書
川合, 知二, 大阪大学
1989-1990
<Y151-H01550624>
国立国会図書館
件名
レーザーアブレーシヨン 無機薄膜 酸化性ガス
低温結晶化
低圧結晶化
種結晶層を用いた
低温結晶化
シリコン薄膜の粒径制御
種結晶層を用いた低温結晶化シリコン薄膜の粒径制御
デジタル
文書・図像類
堀田, 將
2012-05-07
科学研究費補助金研究成果報告書
p.1-5
全国の図書館
件名
低温結晶化
Si薄膜 YSZ薄膜 薄膜トランジスタ 固相成長 低温プロ...
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