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ナノフオーカスビームによる固体表面上の水素の2次元分布の研究
ナノフオーカスビームによる固体表面上の水素の2次元分布の研究
紙
図書
上田, 一之, 豊田工業大学
1998-1999
<Y151-H10555010>
国立国会図書館
件名
水素
水素検知
電子励起 イオン脱離 飛行時間 走査型 シリコン 水素終端
シリコン表面の水素終端化とシリサイド形成過程の研究
シリコン表面の水素終端化とシリサイド形成過程の研究
紙
図書
上田, 一之, 大阪大学
1992-1993
<Y151-H04452093>
国立国会図書館
件名
シリコン シリサイド 水素終端化 水素吸着
水素検知
エピタキシー 電子励起イオン脱離 TOF-ESD
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