検索結果 5 件
紙図書
国立国会図書館
- 件名クリーンロボット / 磁気軸受 / 磁気浮上 / 非接触浮上 / 非接触移動 / バイアス可変制御 / Hinfinity 制御 / 無発塵
デジタル文書・図像類
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- 件名情報作業環境 情報処理機器 プリンタ 発塵 室内空気質 不揮発性残渣 Information Work...
- 一般注記...に即した,特にプリンターからの発塵粒子を対象とした新たなIAQ評......し,クリーンブース内に設置した発塵量測定装置に入れて,発塵量,粒径分布,帯電量分布,発塵粒子の形状および元素組成を調べ......めにディフュージョンドライヤに発塵粒子を通した。その結果,発塵量は,IPで10^6個/枚オー......験では,いずれのプリンタからの発塵粒子も不揮発性の核と水から構成されていることがわかった。具体...
デジタル文書・図像類
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- 件名微粒子 再飛散 パルスエアジェット 表面洗浄 発塵 Wafer Fine Particles Reentrai...
- 一般注記クリ-ンル-ム配管系あるいは各種壁からの微小粒子の発塵現象を明らかにするため、ダクト......よるサブミクロン粒子の壁からの発塵」研究成果報告書 課題番号02650681(KAKEN:科学...
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