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ナノエレクトロメカニカル構造を内蔵する高機能シリコン単電子複合素子の創製
ナノエレクトロメカニカル構造を内蔵する高機能シリコン単電子複合素子の創製
紙
図書
水田博, 東京工業大学 [著]
[水田博]
2006-2007
<Y151-H18310097>
国立国会図書館
件名
NEMS / 可動ゲート構造 / 微細MOSFET / 単電子トランジスタ / シリコンナノブリッジ / ハイブリッドシミュレーション / 3次元有限要素解析 /
等価回路モデル
高速・高精度位置決め用小型・高トルク超音波モータの試作
高速・高精度位置決め用小型・高トルク超音波モータの試作
紙
図書
上羽, 貞行, 東京工業大学
1993-1994
<Y151-H05555023>
国立国会図書館
件名
超音波モータ 複合振動子型 精密位置決め 高速位置決め 圧電素子
等価回路モデル
弾性潤滑状態 負荷特性
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