瀧本, 昭, 金沢大学1991-1992<Y151-H03650177>
国立国会図書館
- 件名化学気相成長法 薄膜製造 高効率化 微粒子 熱・物質移動
小林, 敏雄, 東京大学1990-1991<Y151-H02452115>
国立国会図書館
- 件名数値流体力学 薄膜製造技術 希薄気体流 分子動力学 モンテカルロ法 数値反応槽 コ...
滝本, 昭, Takimoto, Akira金沢大学機械工学系1993-03平成4(1992)年度 科学研究費補助金 一般研究(C) 研究成果報告書 = 1992 Fiscal Year Final Research Report1991-1992p.41p.-
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- 件名化学気相成長法 薄膜製造 高効率化 微粒子 熱・物質移動 Chemical Vapo...
- 一般注記...い定着性が必須であり,従って,薄膜製造においてはこれらの条件を含めた......化学気相成長(CVD)法による薄膜製造法の現状,および工業材への応用...... 出典:「化学気相成長法による薄膜製造の高効率化」研究成果報告書 課題番号03650177(KAK...