イオン液体BMIM-PF₆イオンビーム照射によるガラス基板の表面改質 (シリコン材料・デバイス)

記事を表すアイコン

イオン液体BMIM-PF₆イオンビーム照射によるガラス基板の表面改質(シリコン材料・デバイス)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
024197164
資料種別
記事
著者
竹内 光明ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2012-12-07
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 112(337):2012.12.7
掲載ページ
p.25-30
すべて見る

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

  • CiNii Research

    検索サービス
    デジタル
    連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

デジタル

資料種別
記事
著者・編者
竹内 光明
濱口 拓也
龍頭 啓充 他
シリーズタイトル
並列タイトル等
Surface Modification of Glass Substrate by Ion Beam Irradiation of Ionic Liquid BMIM-PF₆
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
112(337):2012.12.7
掲載巻
112
掲載号
337