イオン液体BMIM-PF₆イオンビーム照射によるガラス基板の表面改質 (シリコン材料・デバイス)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 竹内 光明濱口 拓也龍頭 啓充 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Surface Modification of Glass Substrate by Ion Beam Irradiation of Ionic Liquid BMIM-PF₆
- タイトル（掲載誌）
- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 112(337):2012.12.7
- 掲載巻
- 112
- 掲載号
- 337