単結晶ダイヤモンドウ...

単結晶ダイヤモンドウェハのプラズマCVDによる高速・大面積成長 (特集 ダイヤモンド成長)

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単結晶ダイヤモンドウェハのプラズマCVDによる高速・大面積成長(特集 ダイヤモンド成長)

国立国会図書館請求記号
Z15-339
国立国会図書館書誌ID
024259981
資料種別
記事
著者
山田 英明
出版者
大阪 : 日本結晶成長学会
出版年
2012
資料形態
掲載誌名
日本結晶成長学会誌 = Journal of the Japanese Association for Crystal Growth 39(4):2012
掲載ページ
p.170-178
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
山田 英明
シリーズタイトル
著者標目
並列タイトル等
Present Status of Progresses and Understanding in Techniques to Fabricate Large Size Wafers of Single-crystal Diamond with Sufficiently High Growth Rate
タイトル(掲載誌)
日本結晶成長学会誌 = Journal of the Japanese Association for Crystal Growth
巻号年月日等(掲載誌)
39(4):2012
掲載巻
39
掲載号
4