単結晶ダイヤモンドウェハのプラズマCVDによる高速・大面積成長(特集ダイヤモンド成長)

掲載誌名: 日本結晶成長学会誌 = Journal of the Japanese Association for Crystal Growth 39(4):2012

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資料種別: 記事
タイトル: 単結晶ダイヤモンドウェハのプラズマCVDによる高速・大面積成長
著者・編者: 山田英明
シリーズタイトル: 特集ダイヤモンド成長
著者標目: 山田英明
並列タイトル等: Present Status of Progresses and Understanding in Techniques to Fabricate Large Size Wafers of Single-crystal Diamond with Sufficiently High Growth Rate
タイトル（掲載誌）: 日本結晶成長学会誌 = Journal of the Japanese Association for Crystal Growth
巻号年月日等（掲載誌）: 39(4):2012
掲載巻: 39
掲載号: 4
掲載ページ: 170-178
掲載年月日（W3CDTF）: 2012
ISSN（掲載誌）: 0385-6275
ISSN-L（掲載誌）: 0385-6275
出版事項（掲載誌）: 大阪 : 日本結晶成長学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZM35
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z15-339
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 024259981
http://id.ndl.go.jp/bib/024259981
整理区分コード: 632