ポリテトラフルオロエチレンをターゲットに用いて高周波スパッタリングにより成膜したフッ化炭素薄膜の熱分解挙動(小特集 第53回真空に関する連合講演会論文集(1))

• 資料種別: 記事
• タイトル: ポリテトラフルオロエチレンをターゲットに用いて高周波スパッタリングにより成膜したフッ化炭素薄膜の熱分解挙動
• 著者・編者: 池田 佑旭; 岩森 暁; 松本 裕之 他
• シリーズタイトル: 小特集 第53回真空に関する連合講演会論文集(1)
• 著者標目: 池田 佑旭; 岩森 暁; 松本 裕之
• 並列タイトル等: Thermal Degradation Analysis of Fluorocarbon Thin Films prepared by an r.f. Sputtering with Poly(tetrafluoroethylene) Target
• タイトル（掲載誌）: Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
• 巻号年月日等（掲載誌）: 56(4):2013.4
• 掲載巻: 56
• 掲載号: 4
• 掲載ページ: 133-135
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2013-04
• ISSN（掲載誌）: 1882-2398
• ISSN-L（掲載誌）: 1882-2398
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本真空協会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN15
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-474
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 024633827; http://id.ndl.go.jp/bib/024633827
• 整理区分コード: 632